Normal view
MARC view
Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка Е. Н. Гудымович, У. М. Фролова
Material type: ArticleSubject(s): диоксид кремния | безрезистное травление | фотохимическое травление | термическое травление | поливиниловый спиртGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Полифункциональные химические материалы и технологии : материалы Всероссийской с международным участием научной конференции, Томск, 21-23 ноября 2013 г С. 16-17No physical items for this record
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.