Normal view
MARC view
Патентно-информационные исследования применимости некогерентных источников удьтрафиолетового излучения в полупроводниковой промышленности А. П. Смирнов, А. Г. Ситников, Е. А. Новосельцева
Material type: ArticleSubject(s): инновационные технологии | инновационные проекты | ультрафиолетовое излучение | полупроводниковая промышленность | труды ученых ТГУ | патентно-информационные исследования | эксилампы In: Инноватика - 2013 : сборник материалов IX Всероссийской школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых с международным участием 23-25 апреля 2013 г., Томск, Россия С. 126-129No physical items for this record
Библиогр.: 6 назв.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.