Normal view
MARC view
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] М. А. Королев ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 27 с. ил. 20 смSubject(s): учебные пособия для вузов | самостоятельные работы | наноэлектроника | МОП-транзисторы наноразмерные | интегральные микросхемы кремниевые наноразмерные | интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация | технология интегральных микросхем | микроминиатюризация МОП-транзисторов | МОП-транзисторы субмикронные
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-998814к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000792010 |
Библиогр.: с. 26
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.