Normal view
MARC view
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] Д. Г. Громов ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 59 с. ил. 21 смSubject(s): Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений | интегральные схемы сверхбольшие | наноэлектроника | металлизация многоуровневая | диэлектрические слои интегральных схем | химическое осаждение диэлектриков | химико-механическая полировка
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-998828к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000791989 |
Библиогр.: с. 58
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.