Normal view
MARC view
Кинетика и механизм захвата примеси при газофазовой эпитаксии арсенида галлия диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Торопов Сергей Евгеньевич ; науч. рук. Лаврентьева Л. Г. ; Сиб. физ.-тех. ин-т им. В. Д. Кузнецова при Том. гос. ун-т им. В. В. Куйбышева
Material type: TextPublication details: Томск [б. и.] 1988Description: 186 л. илContent type: Текст Media type: разные средства доступа Subject(s): Физика полупроводников и диэлектриков | диссертации | арсенид галлия, примеси | эпитаксиальные слои, выращивание | рост кристаллов из газовой фазы | эпитаксиальные слои, легирование | полупроводниковые материалыGenre/Form: диссертацииOnline resources: Click here to access onlineItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-698255к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000719533 |
Библиогр.: л. 166 - 186
Доступ в сети ТГУ
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.