Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] С. П. Тимошенков, В. В. Калугин ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ"

By: Тимошенков, Сергей Петрович, 1957-Contributor(s): Калугин, Виктор ВладимировичMaterial type: TextTextSeries: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 199 с. илISBN: 9785725606638Subject(s): учебно-методические комплексы | микроэлектроника | наноэлектроника | наноструктуры кремниевые | кремний-на-изоляторе, технология | травление кремния жидкостное | травление кремния плазмохимическое | наноимпринт-процессы | платы коммутационные | наноэлектронные системы, герметизация | кремниевые пластины | пайка наноэлектронных систем | сборка наноэлектронных систем | монтаж наноэлектронных схем
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Holdings
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 2-006707к (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000816010
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
No cover image available No cover image available
No cover image available
2-006704к Примерная программа учебной дисциплины " Перспективные направления наноэлектроники" 2-006705к Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] 2-006706к Учебное пособие по дисциплине "Физика низкоразмерных структур" 2-006707к Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] 2-006708к Коммуникативные основания виртуальной и игровой реальностей философско-методологический анализ 2-006709к Владимир Ильич Загвязинский биобиблиографический указатель 2-006711 Каталог типовых образцов сосудистых растений Восточной Азии, хранящихся в Гербарии Ботанического института им. В. Л. Комарова (LE) Ч. 2

There are no comments on this title.

to post a comment.
Previous
Back to results
Next
Close