Normal view
MARC view
Высокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур Диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01 Воронежский гос. техн. ун-т
Material type:
TextPublication details: Воронеж 1998Description: 82 с. илSubject(s): электроника | гетерогенные структуры | плазма низкотемпературная | микроэлектроника | наноэлектроника | Монокристаллы | дислокации | поверхностный слой | твердые тела | диссертации
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище-11 | Спецфонд 1-672089к 53 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000021641 |
Библиогр.: с. 72-82
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.