Normal view
MARC view
Плазменное анодирование физика, техника, применение в микроэлектронике В. П. Пархутик, В. А. Лабунов
Material type:
TextPublication details: Минск Навука i тэхнiка 1990Description: 279, [1] с. ил., таблISBN: 5343005225Subject(s): пленки оксидные | плазменное окисление металлов | плазменное окисление полупроводников | плазма кислородная | плазменное анодирование | плазменное оксидирование | экспериментальные исследования | рост пленок оксидных | пленки оксидные плазменные, свойства | полупроводниковые пленки | применение пленок окисдных плазменных в микроэлектронике | МОП-транзисторы | конденсаторы тонкопленочные
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-747913 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000911594 | ||
| 1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-751095 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000919467 |
Библиогр.: с. 252-276
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.