Материаловедение в микроэлектронике Л. С. Палатник, В. К. Сорокин
Material type: TextSeries: Электронное материаловедениеPublication details: Москва Энергия 1978Description: 277, [2] с. илSubject(s): микроэлектроника | материалы электронной техники | полупроводники | металлы | диэлектрики | адсорбция | поверхности газов | поверхности паров | диффузия | примеси | пленочные материалы | резистивные пленки | эпитаксиальные пленки | твердые тела | физика поверхности | поверхности раздела | атомное строение | дефекты кристаллов | материаловедение вакуумное | планарные технологииGenre/Form: монографии Online resources: Click here to access online Получено из INTERNETItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-302365к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000685966 | ||
1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-300770 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000656003 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
Библиогр.: с. 268-278
Получено из INTERNET
Систем. требования: djvu Plug-in for brausers
" ...пользование допускается без согласия автора или иного правообладателя и без выплаты вознаграждения. При этом выраженные в цифровой форме экземпляры произведений, предоставляемые библиотеками во временное безвозмездное пользование … могут предоставляться только в помещениях библиотек при условии исключения возможности создать копии этих произведений в цифровой форме" (Гражданский кодекс РФ, ч. 4).
There are no comments on this title.