Normal view
MARC view
Низкотемпературная технология получения эпитаксиальных структур карбид кремния на изоляторе на основе композиции "SiC-AIN" Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.06
Material type:
TextPublication details: СПб. 1997Description: 16 с. илSubject(s): Технология полупроводников и материалов электронной техники | авторефераты диссертаций
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-851470к (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000237130 |
Библиогр.: с. 15-16
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.