Normal view
MARC view
Электропроводность и деградационные процессы в формованной тонкопленочной структуре металл-диэлектрик-металл на основе оксинитрида кремния диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Лубсанов Ринчин Балданович ; науч. рук. Г. А. Воробьев ; Том. ин-т автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Material type: TextPublication details: Томск [б. и.] 1986Description: [217] л. илSubject(s): Физика полупроводников и диэлектриков | диссертации | металл-диэлектрик-металл (МДМ), тонкие пленки | МДМ-системы, электропроводность | оксинитрид кремния, тонкие пленки | диэлектрические пленки формованные, деградационные процессы | диэлектрические пленки формованные, токоперенос | эмиссия электронов в вакуумItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-436053 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000850302 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
Библиогр.: л. 199 - 213
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.