Википедия [Электронный ресурс] : свободная энциклопедия

Советский и российский физик, академик РАН, д-р техн. наук, профессор, директор Физико-технол. ин-та РАН (ФТИАН). Специалист в области физики и технологии элементной базы микро- и наноэлектроники. С 1981 г. главным направлением его исслед. являются физические основы процессов субмикронной технологии кремниевых СБИС, создание новых технологий и технол. оборудования для передовых производств СБИС. Новое направление его науч. интересов, совместно с акад. К. А. Валиевым, - развитие нанотехнологий для создания приборов с использованием квантовых явлений в полупроводниках.