Normal view
MARC view
- Горнев, Евгений Сергеевич
Горнев, Евгений Сергеевич (Имя лица)
Красников Г. Я., Горнев Е. С., Матюшкин И. В. Общая теория технологий и микроэлектроника. Москва : Техносфера, 2020
Сов. и рос. ученый, специалист в обл. микро- и наноэлектроники, метрологического обеспечения измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах, зам. рук. приоритетного технолог. направления по электронным технологиям АО НИИМЭ, д-р техн. наук, проф., член-корр. РАН (2019).