Normal view
MARC view
- Микроэлектронная аппаратура
Микроэлектронная аппаратура Производство Материалы (Тематический термин)
Machine generated authority record.
Work cat.: (RU-ToGU): Кормилицын, Олег Павлович 135548, Механика материалов и структур нано- и микротехники, 2008