Normal view
MARC view
- Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация (Тематический термин)
Machine generated authority record.
Work cat.: (RU-ToGU): Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники, 1991