Normal view
MARC view
- Борун, Александр Феликсович
Борун, Александр Феликсович (Имя лица)
Machine generated authority record.
Work cat.: (RU-ToGU): Борун, Александр Феликсович., Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота, 1995