Normal view
MARC view
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем (Record no. 919008)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02313nam a2200301 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | koha000919008 |
| 006 - Дополнительные элементы данных фиксированной длины | |
| Контрольное поле постоянной длины | m o |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 220207d2022 RU s 00 0 rus |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | koha000919008 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU |
| Организация, изменившая запись | Ru-ToGu |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 32.85я73 |
| 084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
| Индекс другой классификации/Индекс ББК | 54:621.38 |
| Источник индекса | rubbk |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Родионов, Ю. А. |
| 9 (RLIN) | 778878 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем |
| Физический носитель | Электронный ресурс |
| Ответственность | Родионов Ю. А. |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | Лань |
| Дата издания | 2022 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 220 с. |
| 520 ## - Аннотация | |
| Аннотация | Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры Электроника и наноэлектроника, Конструирование и технология электронных средств. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | Реактив |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | фильтрация |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | травление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанесение пленок |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | деионизованная вода |
| 856 4# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="https://e.lanbook.com/book/200492">https://e.lanbook.com/book/200492</a> |
| Справочный текст | ЭБС Лань |
| 856 41 - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg">https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg</a> |
| Справочный текст | ЭБС Лань |
| 910 ## - Внешние ресурсы | |
| Внешние ресурсы | ЭБС Лань |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 919008 |
No items available.