Normal view
MARC view
HVPE growth of corundum-structured α-Ga2O3 on sapphire substrates with α-Cr2O3 buffer layer (Record no. 894602)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 01913nab a2200385 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | koha000894602 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20230310160344.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr | |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 220520|2021 ru s a eng d |
| 024 7# - Прочие стандартные номера | |
| Стандартный номер | 10.18149/MPM.4742021_4 |
| Источник номера | doi |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | koha000894602 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | HVPE growth of corundum-structured α-Ga2O3 on sapphire substrates with α-Cr2O3 buffer layer |
| Ответственность | S. I. Stepanov, V. I. Nikolaev, A. V. Almaev [et al.] |
| 336 ## - Тип содержимого | |
| Тип содержимого | Текст |
| 337 ## - Средство доступа | |
| Средство доступа | электронный |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: 17 назв. |
| 520 3# - Аннотация | |
| Аннотация | Gallium oxide films were grown by HVPE on (0001) sapphire substrates with and without α-Cr2O3 buffer produced by RF magnetron sputtering. Deposition on bare sapphire substrates resulted in a mixture of α-Ga2O3 and ε-Ga2O3 phases with a dislocation density of about 2∙1010 cm-2. The insertion of α-Cr2O3 buffer layers resulted in phase-pure α-Ga2O3 films and a fourfold reduction of the dislocation density to 5∙109 cm-2. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | пленки оксида галлия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | сапфировые подложки |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | метод высокочастотного магнетронного распыления |
| 655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
| Жанр/форма | статьи в журналах |
| 9 (RLIN) | 804906 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Stepanov, Sergey I. |
| 9 (RLIN) | 802461 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Nikolaev, Vladimir I. |
| 9 (RLIN) | 802460 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Almaev, Aleksei V. |
| 9 (RLIN) | 407941 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Pechnikov, Aleksei I. |
| 9 (RLIN) | 802462 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Scheglov, Mikhail P. |
| 9 (RLIN) | 811517 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Chikiryaka, Andrei V. |
| 9 (RLIN) | 878330 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Kushnarev, Bogdan O. |
| 9 (RLIN) | 802463 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Polyakov, A. Y. |
| 9 (RLIN) | 762031 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Materials physics and mechanics |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Vol. 47, № 4. P. 577-581 |
| ISSN | 1605-2730 |
| Контрольный № источника | 0108-60660 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 856 4# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000894602">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000894602</a> |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 894602 |
No items available.