Normal view
MARC view
Влияние обработки в низкоэнергетической плазме CF4 и последующего отжига на образование дефектов в псевдоморфных GaAs/AlGaAs/InGaAs/GaAs гетерострукткрах для мощных сверхвысокочастотных транзисторов (Record no. 722242)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02077naa a2200361 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | koha000722242 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20211126110242.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 211126s2002 ru f 100 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | koha000722242 |
| 039 ## - История создания и изменения записи | |
| Создание записи | 26 |
| Последнее изменение записи | 26 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Влияние обработки в низкоэнергетической плазме CF4 и последующего отжига на образование дефектов в псевдоморфных GaAs/AlGaAs/InGaAs/GaAs гетерострукткрах для мощных сверхвысокочастотных транзисторов |
| Ответственность | Т. С. Шамирзаев, К. С. Журавлев, Ф. В. Вьюганов [и др.] |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: 4 назв.<br/><br/> |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | физика полупроводников |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводники |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковые приборы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | микроэлектронные приборы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | электронные устройства |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | СВЧ транзисторы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | арсенид галлия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | гетероструктуры |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | экспериментальные исследования |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковые материалы |
| 700 1# - Другие авторы | |
| 9 (RLIN) | 762457 |
| Другие авторы | Шамирзаев, Тимур Сезгирович |
| 700 1# - Другие авторы | |
| 9 (RLIN) | 379309 |
| Другие авторы | Журавлев, Константин Сергеевич |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Код отношения | Вьюганов, Ф. В. |
| 700 1# - Другие авторы | |
| 9 (RLIN) | 379239 |
| Другие авторы | Торопов, Александр Иванович |
| 700 1# - Другие авторы | |
| 9 (RLIN) | 762650 |
| Другие авторы | Бакаров, Асхат Климович |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции |
| Место и дата издания | Томск, 2002 |
| Прочая информация | С. 315-317 |
| Контрольный № источника | 0183-75860 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Код страны | ru |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 942 ## - Дополнительные данные (Коха) | |
| Код системы классификации для розстановки фонда | Универсальная десятичная классификация |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 722242 |
No items available.