Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Microstructure and properties of nanocomposite Al-Si-N system coatings produced by magnetron sputtering (Record no. 432368)

MARC details
000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 02673nab a2200361 c 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле vtls000622551
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20210922093814.0
007 - Кодируемые данные (физ. описан.)
Контрольное поле постоянной длины cr |
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 180312|2016 xxu s a eng d
024 7# - Прочие стандартные номера
Стандартный номер 10.1063/1.4964552
Источник номера doi
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер to000622551
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RU-ToGU
Код языка каталог. rus
Служба, преобразующая запись RU-ToGU
245 10 - Заглавие
Заглавие Microstructure and properties of nanocomposite Al-Si-N system coatings produced by magnetron sputtering
Ответственность I. Bozhko, E. Rybalko, A. Pershukova [et.al.]
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: 17 назв.
520 3# - Аннотация
Аннотация The paper presents the results of investigations of the structural and phase conditions, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coating obtained by magnetron sputtering. The thickness of this coating ranges from 3 to 19 µm and is sprayed on silica glass using magnetron sputtering technique. The formation of nanoscale AlN single phase with HCP crystal system and the crystal grain size of up to 20 nm is discovered using the X-ray diffraction method. The texture of [002] orientation is observed in the structure of Al-Si-N-based coatings. These coatings are characterized by high values of microhardness and coefficient of restitution. The transmission spectrum of the coatings are produced within the range of 190-1100 nm. Al-Si-N-based coatings are characterized by a high degree of transparency (≈ 80%) within the visible light spectrum and complete opaqueness in the ultraviolet region. The refractive index and the thickness of Al-Si-N system coating are determined using the transmission spectrum and refractive index. The refractive index of Al-Si-N-coated glass samples is determined using the transmission spectrum the value of which increases with the increase in the coating thickness.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова нанокомпозитные покрытия
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова магнетронное распыление
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова механические свойства
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова оптические свойства
655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма
Жанр/форма статьи в журналах
9 (RLIN) 745982
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Bozhko, Irina A.
9 (RLIN) 101626
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Pershukova, Anastasiya
9 (RLIN) 480839
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Fedorischeva, Marina V
9 (RLIN) 105411
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Khristenko, Yury F.
9 (RLIN) 103892
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Sergeev, Victor P.
9 (RLIN) 245921
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Rybalko, Evgeniya
9 (RLIN) 480840
773 0# - Источник информации
Название источника AIP Conference Proceedings
Место и дата издания 2016
Прочая информация Vol. 1772. P. 030014-1-030014-8
ISSN 0094-243X
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
856 7# - Электронный адрес документа
URL <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000622551">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000622551</a>
908 ## - Параметр входа данных
Параметр входа данных статья
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 432368

No items available.