Normal view
MARC view
Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда (Record no. 430308)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02762nab a2200313 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000619097 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922093416.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr | |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 180111|2017 ru s c rus d |
| 024 7# - Прочие стандартные номера | |
| Стандартный номер | 10.17223/19988621/50/7 |
| Источник номера | doi |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000619097 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Ляхов, Анатолий Александрович |
| 9 (RLIN) | 479652 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда |
| Ответственность | А. А. Ляхов, В. И. Струнин |
| 246 11 - Заглавие тома/части | |
| Заглавие тома/части | Numerical analysis of the kinetics of chemical reactions in an argon-silane plasma of the glow discharge |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: 9 назв. |
| 520 3# - Аннотация | |
| Аннотация | Путем численного решения уравнений диффузии для нейтральных компонентов с учетом протекания химических реакций в газовой фазе проведено моделирование состава аргон-силановой плазмы тлеющего разряда. Анализируется вклад наиболее значимых химических реакций в кинетику образования и гибели различных компонентов плазмы. Исследуется кинетика реагентов в зависимости от времени пребывания рабочего газа в разрядной зоне. Обсуждается вопрос о количестве компонентов, включаемых в модель. Показано, что для интервалов времени t ≤ 10−2 с компоненты SinHx (n ≥ 3) не существенны для моделирования химической кинетики пленкообразующих радикалов. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | силановая плазма |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | процессы переноса в химически активной плазме |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | аморфный кремний |
| 655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
| Жанр/форма | статьи в журналах |
| 9 (RLIN) | 745982 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Струнин, Владимир Иванович |
| 9 (RLIN) | 382261 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Вестник Томского государственного университета. Математика и механика |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 50. С. 79-89 |
| ISSN | 1998-8621 |
| Контрольный № источника | 0210-41660 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 856 7# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000619097">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000619097</a> |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 430308 |
No items available.