Normal view
MARC view
Atomic Layer Deposition for Semiconductors (Record no. 399082)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02657nam a22004935i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000540936 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922082028.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr nn 008mamaa |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 160915s2014 xxu| s |||| 0|eng d |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9781461480549 |
| -- | 978-1-4614-8054-9 |
| 024 7# - Прочие стандартные номера | |
| Стандартный номер | 10.1007/978-1-4614-8054-9 |
| Источник номера | doi |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000540936 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | Springer |
| Служба, преобразующая запись | Springer |
| Организация, изменившая запись | RU-ToGU |
| 050 #4 - Расстановочный код библ. Конгресса | |
| Классификационный индекс | QD551-578 |
| 072 #7 - Код предметной/темат. категории | |
| Код предметной/темат. категории | PNRH |
| Источник кода | bicssc |
| 072 #7 - Код предметной/темат. категории | |
| Код предметной/темат. категории | SCI013050 |
| Источник кода | bisacsh |
| 082 04 - Индекс Дьюи | |
| Индекс Дьюи | 541.37 |
| Номер издания | 23 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Atomic Layer Deposition for Semiconductors |
| Физический носитель | electronic resource |
| Ответственность | edited by Choel Seong Hwang. |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Boston, MA : |
| Издательство | Springer US : |
| -- | Imprint: Springer, |
| Дата издания | 2014. |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | X, 263 p. 170 illus., 81 illus. in color. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | online resource. |
| 336 ## - Тип содержимого | |
| Тип содержимого | text |
| Content type code | txt |
| Source | rdacontent |
| 337 ## - Средство доступа | |
| Средство доступа | computer |
| Media type code | c |
| Source | rdamedia |
| 338 ## - Тип носителя | |
| Тип носителя | online resource |
| Carrier type code | cr |
| Source | rdacarrier |
| 505 0# - Примечание о содержании | |
| Содержание | Introduction -- Precursors and reaction mechanisms -- ALD simulations -- ALD for mass-production memories (DRAM and Flash) -- ALD for emerging memories -- PcRAM -- FeRAM -- Front end of the line process -- Back end of the line -- ALD machines. |
| 520 ## - Аннотация | |
| Аннотация | Atomic Layer Deposition (ALD) was originally designed for depositing uniform passivation layers over a very large area for display devices in the late 1970s. Only recently, in the 21st century, has the this technique become popular for high integrated semiconductor memory devices. This book discusses ALD for all modern semiconductor devices, the basic chemistry of ALD, and models of ALD processes. The book also details ALD for both mass produced memories and emerging memories. Each chapter of the book provides history, operating principles, and a full explanation of ALD processes for each device. |
| 650 #0 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | chemistry. |
| 9 (RLIN) | 161768 |
| 650 #0 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Memory management (Computer science). |
| 9 (RLIN) | 306582 |
| 650 #0 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | electronics. |
| 9 (RLIN) | 303071 |
| 650 #0 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Electric engineering. |
| 9 (RLIN) | 304460 |
| 650 14 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Chemistry. |
| 9 (RLIN) | 161768 |
| 650 24 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Electrochemistry. |
| 9 (RLIN) | 303338 |
| 650 24 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Semiconductors. |
| 9 (RLIN) | 410520 |
| 650 24 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Memory Structures. |
| 9 (RLIN) | 306583 |
| 650 24 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Energy Technology. |
| 9 (RLIN) | 316263 |
| 650 24 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | Electronics and Microelectronics, Instrumentation. |
| 9 (RLIN) | 303076 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Hwang, Choel Seong. |
| Роль лиц | editor. |
| 9 (RLIN) | 446501 |
| 710 2# - Другие организации | |
| Организация/юрисдикция | SpringerLink (Online service) |
| 9 (RLIN) | 143950 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Springer eBooks |
| 856 40 - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="http://dx.doi.org/10.1007/978-1-4614-8054-9">http://dx.doi.org/10.1007/978-1-4614-8054-9</a> |
| 912 ## - Coursera for Campus: онлайн курсы для ТГУ | |
| Coursera for Campus: онлайн курсы для ТГУ | ZDB-2-CMS |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 399082 |
No items available.