Normal view
MARC view
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах (Record no. 361945)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 03297cam a2200565 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000494755 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20221219143047.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 141211s2011 ru a f b 000 0 rus|d |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9785769211836 |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | 005080951 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RuMoRKP |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | rcr |
| Организация, изменившая запись | RuMoRGB |
| -- | RU-ToGU |
| 041 0# - Код языка издания | |
| Код языка текста | rus |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.61:621.382.049.77 |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.61:537.226 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах |
| Ответственность | [В. А. Гриценко, А. П. Елисеев, М. В. Иванов и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев, В. А. Гриценко ; Российская акад. наук, Сибирское отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.] |
| 246 11 - Заглавие тома/части | |
| Заглавие тома/части | Synthesis, properties and applications of dielectrics with high dielectric constant in silicon based devices |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Новосибирск |
| Издательство | Изд-во Сибирского отделения Российской академии наук |
| Дата издания | 2011 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 157 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил., табл. |
| Размеры | 25 см |
| 490 1# - Серия | |
| Заглавие серии | Интеграционные проекты СО РАН |
| № тома | вып. 31 |
| 500 ## - Примечания | |
| Примечание | Авт. указаны на обороте тит. л. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр. в конце гл. |
| 650 #7 - Тематические рубрики | |
| Основная рубрика | полупроводниковые приборы |
| Источник рубрики | nlr_sh |
| 9 (RLIN) | 54729 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковые приборы кремниевые |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | прекурсоры. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | электронные структуры |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | атомные структуры |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | вакансии кислорода |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | люминесценция диэлектриков |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | фотолюминесценция диэлектриков |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диэлектрические пленки |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | high-k-диэлектрики |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диоксид гафния |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | оксид кремния |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | оксинитрид кремния |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нестехиометрические соединения. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | перенос зарядов |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | проводимость диэлектриков двузонная |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | инжекция электронов |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | проводимость полупроводников. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диэлектрическая проницаемость, оптимизация |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Гриценко, Владимир Алексеевич |
| 9 (RLIN) | 155232 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Елисеев, Александр Павлович |
| 9 (RLIN) | 419901 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Иванов, М. В. |
| 9 (RLIN) | 107448 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Асеев, Александр Леонидович |
| Дата | 1946- |
| Код отношения | edt |
| 9 (RLIN) | 78160 |
| 830 #0 - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Интеграционные проекты СО РАН |
| 9 (RLIN) | 95002 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 621.3 |
| Авторский знак | С387 |
| Код страны | ru |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 361945 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Читальный зал 5 | 04/04/2021 | 991.20 | 621.3 С387 | 13820000884446 | Выдается по месту хранения | ||||
| Научная библиотека ТГУ | Читальный зал. Депозитарий | 04/04/2021 | 991.20 | 621.3 С387 | 13820000884447 | 1 месяц |