Normal view
MARC view
Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" (Record no. 306676)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 02027cam a2200361 i 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | vtls000416938 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20210922052221.0 |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | 005079646 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RuMoRKP |
Код языка каталог. | rus |
Организация, изменившая запись | RuMoRGB |
041 0# - Код языка издания | |
Код языка текста | rus |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.38.049.77-022.532(076.5)(075.8) |
100 1# - Автор | |
Автор | Голишников, Александр Анатольевич |
9 (RLIN) | 345400 |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" |
Продолж. заглавия | [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] |
Ответственность | А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | Москва |
Издательство | МИЭТ |
Дата издания | 2011 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 100 с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
Размеры | 21 см. |
490 10 - Серия | |
Заглавие серии | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр. в конце работ |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | учебные пособия для вузов |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | лабораторные работы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | интегральные схемы |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | наноэлектроника |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | диэлектрические пленки |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | тонкие пленки |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | магнетронное распыление |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | плазменное травление |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Путря, Михаил Георгиевич |
9 (RLIN) | 345401 |
830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
Унифицированное заглавие | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
9 (RLIN) | 189863 |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
Полочный индекс | 621.3 |
Авторский знак | У912 |
Код страны | ru |
908 ## - Параметр входа данных | |
Параметр входа данных | учебник |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 306676 |
Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 04/04/2021 | 260.00 | 1-998700к | 13820000792270 | Выдается в читальный зал |