Normal view
MARC view
Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий (Record no. 175752)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02053nam a2200385 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000173578 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922000630.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 120827s1983 ru a f b 000 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | 0177-95960 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| Правила каталог. | PSBO |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 539.216.2:539.216.2:548.4 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий |
| Продолж. заглавия | (По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1982 гг. ) |
| Ответственность | И. С. Суровцев, Г. А. Кузнецова, С. С. Булгаков, В. Ф. Сыноров |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | М. |
| Издательство | Электроника |
| Дата издания | 1983 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 51, [1] с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | рис. |
| 490 10 - Серия | |
| Заглавие серии | Обзоры по электронной технике |
| -- | Серия 3. "Микроэлектроника" |
| № тома | Вып. 3 (947) |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 45-51 |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диэлектрические пленки. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | тонкие пленки. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | двуокись кремния. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | планарная технология. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | пористость. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | макродефекты сквозные. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | термическое окисление. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диффузия. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эпитаксия. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | методы контроля. |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Суровцев, Игорь Степанович. |
| 9 (RLIN) | 129788 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Кузнецова, Галина Алексеевна. |
| 9 (RLIN) | 257625 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Булгаков, Станислав Сергеевич. |
| 9 (RLIN) | 225224 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Сыноров, Владимир Федорович. |
| 9 (RLIN) | 170102 |
| 830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Обзоры по электронной технике |
| Номер части/раздела работы | Серия 3. "Микроэлектроника" |
| 9 (RLIN) | 257626 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 1-515598 |
| Авторский знак | 539 |
| Код страны | ru |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 175752 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра | Номер копии |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 03/04/2021 | 0.45 | 1-505084к | 13820000555460 | Выдается в читальный зал | |||||
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 03/04/2021 | 0.45 | 1-515498 | 13820000421777 | 1 месяц | 1 |