Normal view
MARC view
Микроструктурирование тонких пленок (Record no. 1182)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 02305nam a2200457 c 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | vtls000056981 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20210909190554.0 |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 120826c19919999ru a f b 000 0 rus d |
020 ## - Индекс ISBN | |
ISBN | 5020068179 |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | 0059-73660 |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | (RU-ToGU)ru92-010278 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RKP |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
Организация, изменившая запись | RU-ToGU |
Правила каталог. | PSBO |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 621.382.049.77(082) |
080 ## - Индекс УДК | |
Индекс УДК | 538.975(082) |
084 ## - Индекс другой классификации/Индекс ББК | |
Индекс другой классификации/Индекс ББК | 47.13 |
Источник индекса | rugasnti |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Микроструктурирование тонких пленок |
Ответственность | Отв. ред. А. А. Орликовский |
260 ## - Выходные данные | |
Место издания | М. |
Издательство | Наука |
Дата издания | 1991 |
300 ## - Физическое описание | |
Объем | 110,[2] с. |
Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
Размеры | 24 см |
490 1# - Серия | |
Заглавие серии | Труды ФТИАН; АН СССР, Физ.-технол. ин-т |
№ тома | т. 20 |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр. в конце ст. |
650 #7 - Тематические рубрики | |
Основная рубрика | Микролитография. |
Источник рубрики | rurkp |
9 (RLIN) | 108142 |
650 #7 - Тематические рубрики | |
Основная рубрика | Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство. |
Источник рубрики | rurkp |
9 (RLIN) | 108143 |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | тонкие пленки. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | литография субмикронная |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | физика тонких пленок. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | распыление тонких пленок |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | анализ тонких пленок |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | масс-спектральный анализ. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | спектроскопия ионно-фотонная |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | математическое моделирование процессов. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | кинетика отказов |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | миграционные модели |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | транзисторы полевые арсенидгаллиевые |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | электрические характеристики. |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Орликовский, Александр Александрович |
Дата | 1938- |
Роль лиц | редактор |
Код отношения | edt |
9 (RLIN) | 59562 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Валиев, Камиль Ахметович. |
Роль лиц | редактор |
Код отношения | edt |
9 (RLIN) | 108144 |
810 2# - Заголовок добавочной библ.записи на серию — наименование организации | |
Наименование организации | Физико-технологический институт (Москва) |
Заглавие работы | Труды ФТИАН |
9 (RLIN) | 108145 |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
Код страны | ru |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 1182 |
Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Номер копии | Класс экземпляра | Инвентарный номер (дополнительно) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 02/04/2021 | 2.90 | 1-759532 | 13820000122563 | 1 | Выдается в читальный зал | |||||
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 02/04/2021 | 25.00 | 1-790835 | 13820000290597 | 2 | 1 месяц | |||||
Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 02/04/2021 | 6.50 | 1-779857 | 13820000874858 | Выдается в читальный зал | 1-779857 |