Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем Электронный ресурс Родионов Ю. А.
Material type: TextPublication details: Санкт-Петербург Лань 2021Description: 220 сSubject(s): реактив | фильтрация | травление | нанесение пленок | деионизованная водаOther classification: 54:621.38 Online resources: ЭБС Лань | ЭБС Лань Summary: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры Электроника и наноэлектроника, Конструирование и технология электронных средств.Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры Электроника и наноэлектроника, Конструирование и технология электронных средств.
There are no comments on this title.