Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Исследование эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и с помощью кварцевого измерителя толщины В. В. Дирко, В. А. Заяханов

By: Дирко, Владимир ВладиславовичContributor(s): Заяханов, Владимир АлександровичMaterial type: ArticleArticleOther title: The study of the epitaxial growth of thin silicon and germanium films by electron diffraction techniques and by ultrasonic thickness gauge [Parallel title]Subject(s): кварцевые измерители толщины пленок | эпитаксиальные слои германия | эпитаксиальные слои кремния | дифракция быстрых электроновGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Физика твердого тела : сборник материалов XVI Российской научной студенческой конференции, Томск, 17–20 апреля 2018 г С. 191-194
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: 3 назв.

There are no comments on this title.

to post a comment.