Normal view
MARC view
Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины В. А. Заяханов, В. В. Дирко
Material type: ArticleSubject(s): эпитаксиальные слои германия | эпитаксиальные слои кремния | кварцевые измерители толщины | дифракция быстрых электроновGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Труды Пятнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-19 мая 2018 г С. 257-260No physical items for this record
Библиогр.: 4 назв.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.