Normal view
MARC view
Влияние отжига в аргоне на свойства пленок оксида галлия, полученных термическим напылением В. М. Калыгина, В. В. Вишникина, А. Н. Зарубин и др.
Material type: ArticleSubject(s): оксид галлия | оксидные пленки | термическое напыление | отжиг | электрические характеристики | оптические характеристикиGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Физика и техника полупроводников Т. 47, № 8. С. 1137-1143No physical items for this record
Библиогр.: 9 назв.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.