Normal view
MARC view
Облучатель на основе эксиламп для обработки полупроводниковых пластин А. П. Смирнов, А. Г. Ситников, Э. А. Соснин [и др.]
Material type: ArticleSubject(s): труды ученых ТГУ | эксилампы | облучатели | полупроводниковые пластины | облучающие модули In: Инноватика - 2012. Т. 1 : сборник материалов VIII Всероссийской школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых с международным участием, 25-28 апреля 2012 г., г. Томск, Россия Т. 1. С. 161-163No physical items for this record
Библиогр.: 1 назв.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.