Normal view
MARC view
Микропрофилирование композиции "SiC-AIN" методом реактивного ионно-плазменного травления Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.06
Material type: TextPublication details: СПб. 1999Description: 16 с. илSubject(s): Технология полупроводников и материалов электронной техники | авторефераты диссертацийItem type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-853495к 62 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000061551 |
Библиогр.: с. 16
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.