Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы В. Киреев, А. Столяров

By: Киреев, Валерий ЮрьевичContributor(s): Столяров, Александр АлександровичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Series: Мир электроникиPublication details: Москва Техносфера 2006Description: 190, [1] с. ил. 22 смISBN: 5948360393Subject(s): Металлы -- Осаждение из газовой фазы | Микроэлектронные схемы интегральные -- Производство | полупроводниковые пленки | термоактивированные процессы | плазмоактивированные процессы | эпитаксиальные монокристаллические пленки | кремний | германий | полупроводниковые гетероструктуры | поликремний легированный | поликремний нелегированный | кремний аморфный | стекла силикатные | нитрид кремния | оксинитрид кремния | диэлектрические пленки | диэлектрические постоянные | вольфрам | титан | тантал | алюминий | медь | фоторезисторы кремнеорганические | микроструктуры | интегральные микросхемы | технология производства микросхемOther classification: 32.85
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Holdings
Item type Current library Call number Copy number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Научная библиотека ТГУ Факультетская библиотека 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) Available (Ограниченный доступ) 13820000539379
Выдается в читальный зал Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 1-939316к (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000542020
6 месяцев Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000542021
1 месяц Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 1-940784 (Browse shelf(Opens below)) Available 13820000539380
6 месяцев Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) 1 Available 13820000611963
1 месяц Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 1-952628 (Browse shelf(Opens below)) 1 Available 13820000584134
6 месяцев Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) 2 Available 13820000611964
1 месяц Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 1-952629 (Browse shelf(Opens below)) 2 Available 13820000584135
6 месяцев Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) 3 Available 13820000611965
6 месяцев Научная библиотека ТГУ Библиотека РФФ 621.3 К43 (Browse shelf(Opens below)) 4 Checked out 23/07/2023 13820000611966
6 месяцев Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) 5 Available 13820000611967
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Абонемент. Депозитарий Close shelf browser (Hides shelf browser)
62 К43 Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [учебно-справочное руководство для университетов по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников] 62 К43 Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [учебно-справочное руководство для университетов по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников] 62 К43 Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы 62 К43 Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы 62 К43 Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы 62 К43 Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы 62 К43 Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Библиогр.: с. 188-190

There are no comments on this title.

to post a comment.